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粵升設(shè)備自主研發(fā)的SiC外延爐，外延爐已獲得多家外延生長(zhǎng)廠家批量訂單，生長(zhǎng)的SiC外延片質(zhì)量達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平，滿足SBD和MOSFET器件的制備要求。

設(shè)備已通過(guò)國(guó)內(nèi)知名SiC襯底公司驗(yàn)證，且可批量供貨；設(shè)備兼容8吋晶錠。

其它SiC設(shè)備研發(fā)中···